13) 净化单元采用美国AAF生产的百级高效无隔板高效空气过滤器，过滤效率大于99.999%。···

0.15-0.35m/s···

工作时顶部的风机吸入环境空气，经空气净化系统过滤成为洁净空气，再以层流的方式送入工作区域。同时使工作区域内保持正压，以阻止外部空间的尘埃粒子进入工作区域。···

　6.如遇机组发生故障，应立即通知专业人员，检修合格后继续使用。···